談?wù)?a >在線氣相色譜儀的結(jié)構(gòu)及功能
談?wù)勗诰€氣相色譜儀的結(jié)構(gòu)及功能-色譜儀_氣相色譜儀_液相色譜儀-滕州市惠譜分析儀器有限公司
在線氣相色譜儀的結(jié)構(gòu)主要包括電子壓力控制模塊、色譜模塊、數(shù)據(jù)處理模塊、接口模塊和顯示模塊,此外還包括防爆模塊等輔助單元。 
采用電子壓力控制模塊調(diào)節(jié)載氣和樣氣的壓力,穩(wěn)壓后的載氣攜帶樣氣進入色譜模塊。色譜模塊由進樣器、色譜柱和檢測器組成,進樣器獲取一定量的樣氣后,送入色譜柱分離,蕞終由檢測器輸出檢測信號。數(shù)據(jù)處理模塊用于分析儀的工作流程控制,獲取色譜模塊的檢測器信號,經(jīng)處理得到氣體分析結(jié)果。接口電路實現(xiàn)分析儀和外部設(shè)備之間的數(shù)據(jù)和狀態(tài)信息的通訊,并進行反饋控制。 
其中,在線氣相色譜模塊作為最核心部件,采用的是微型色譜技術(shù),基于微電子機械系統(tǒng)技術(shù)(MEMS)在硅片上制造高質(zhì)量、高精度微細(xì)進樣系統(tǒng)和高靈敏度的微細(xì)熱導(dǎo)檢測器。由于所有微細(xì)器件在硅片上完成,故這些器件的化學(xué)性能很穩(wěn)定,惰性好,工藝上重復(fù)性好,制造精度高。 
進樣系統(tǒng)通過雙面刻蝕的硅片和鍵合技術(shù)形成微通道和微閥,將這些微通道和微閥組合起來形成不同類型的進樣器。同時,用陽極鍵合工藝將一片玻璃片和硅片鍵合在一起,形成微型熱導(dǎo)檢測器部件。采用MEMS技術(shù)的在線氣相色譜儀具有分析速度快、系統(tǒng)體積小、耗氣量少、檢測器靈敏度高等特點,非常適用于石化工業(yè),如天然氣、煉廠氣、石油和天然氣勘探中的氣體分析。
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